南京理工大学2024年政府采购意向公开（第63批）
发布日期： 2024-06-25 浏览次数：
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京理工大学2024年政府采购意向公开（第63批）政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 微电子学院电子束蒸镀设备采购 | CGYX2024105 | 其他电工电子专用生产设备 | 电子束蒸镀设备，1套。主要参数包括，电子束蒸镀主系统： 1、工件台尺寸：圆形工件台，直径6英寸； 2、装载量：可装载一个6英寸样品或更小尺寸样品； 3、工件台降温：工件台可通水冷却，保证工艺温度不高于80℃； 4、工作台转速：0至20转/分钟可调； 5、电子枪功率：6千瓦； 6、坩埚数量：4*15CC； 7、极限真空：优于1E-5Pa； 8、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟； 9、漏率：优于6E-3Pa.L/s； 10、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm； 11、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa； 12、晶振控制器，速率0.1~1 nm可调，速率精度0.01 nm/s； 13、镀膜均匀性：直6英寸范围内均匀性优于±2%； 14、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%； 磁控溅射辅助模块： 15、工件台尺寸：圆形工件台，直径4英寸； 16、装载量：可装载一个4英寸样品或更小尺寸样品； 17、工件台加热：工件台最高加热温度为200℃，温度控制精度为±0.1℃； 18、工作台转速：0至20转/分钟可调； 19、直流溅射电源：1*500W； 20、射频溅射电源：1*300W； 21、靶枪：3*2英寸； 22、极限真空：优于1E-5Pa； 23、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟； 24、漏率：优于6E-3Pa.L/s； 25、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm； 26、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa，工艺压力测量精度≤0.01mTorr； 27、镀膜均匀性：直4英寸范围内均匀性优于±2%； 28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2% 28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2% | 200 | 2024年07月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京理工大学招标办公室
2024年06月25日
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